Plasma Source 저온 플라즈마에 관해서

2014.05.02 23:41

노수현 조회 수:6692

안녕하세요

이번에 플라즈마에 연관된 조사를 하게된 고등학생입니다

근데 열 플라즈마는 다행히 내용을 찾을 수 있었지만

저온플라즈마는 어떻게 생성되는지 방법과 원리에 관한 내용은

너무 어렵거나, 잘 나와있지 않아서... 설명 부탁드립니당..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76981
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20333
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57254
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68801
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92796
321 plasma 형성 관계 [1] 1561
320 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1541
319 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1541
318 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1530
317 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1530
316 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1519
315 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1487
314 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1485
313 charge effect에 대해 [2] 1485
312 ICP lower power 와 RF bias [1] 1482
311 알고싶습니다 [1] 1474
310 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1472
309 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1472
308 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1470
307 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1470
306 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1466
305 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1460
304 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1457
303 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1448
302 Ar plasma power/time [1] 1447

Boards


XE Login