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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다.
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RF 전압과 압력의 영향?
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플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
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glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
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자기 거울에 관하여
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PECVD와 RIE의 경계에 대해
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micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
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ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
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안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다.
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쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다.
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챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화
[1] | 1021 |
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PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다!
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플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
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연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
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Group Delay 문의드립니다.
[1] | 994 |
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부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다.
[1] | 994 |
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플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서)
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low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜.
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Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 980 |
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Plasma etch관련 질문이 드립니다.
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