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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68542
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256 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1282
255 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1274
254 플라즈마 기초입니다 [1] 1271
253 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1263
252 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1254
251 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1247
250 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1228
249 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1218
248 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1217
247 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1213
246 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1205
245 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1193
244 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1185
243 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1183
242 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1169
241 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1159
240 플라즈마 챔버 [2] 1158
239 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1157
238 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1143
237 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1136

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