번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103562
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24740
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61575
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73542
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 106024
314 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [Byproduct와 gas flow, cleaning] [1] 1742
313 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature] [1] 1737
312 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [Global model] [1] 1719
311 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 1714
310 플라즈마 챔버 [화학반응 및 내열조건] [2] 1713
309 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [전자 소실 및 플라즈마 전위] [3] 1699
308 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [전자전류의 해석] [1] 1683
307 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1680
306 잔류시간 Residence Time에 대해 [표면 유속 정보, 유체해석 코드] [1] 1679
305 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1675
304 강의를 들을 수 없는건가요? [플라즈마 진단 심포지움 및 PSES-net] [2] 1674
303 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요 [RF power와 power factor] [1] 1671
302 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [O2 plasma, ion sputtering] [1] 1659
301 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해] [1] 1657
300 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 1652
299 전자 온도 구하기 [쉬스 전압, 스퍼터링 효과] [1] file 1648
298 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [Plasma actuator와 DBD 방법] [3] 1642
297 etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution] [1] 1636
296 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [플라즈마 생성 반응] [1] file 1630
295 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의] [1] 1628
쓰기
태그

Boards

XE Login