Others Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.

2020.06.08 18:29

튠업 조회 수:681

안녕하십니까 교수님


공정 실습 중 Dechucking 이슈에 대해 궁금증이 있어 이렇게 글을 남깁니다.

제가 확인한 이슈는 dechucking 이후 핀업 진행 시 웨이퍼가 슬라이딩 하는 문제였는데, 해당 이슈에 대해 config값을 (0->5)변경하여 He flow가 되도록 조치했다는 것을 알았습니다.

chucking 과정중 He의 역할이 온도를 낮추는 역할 정도로 알고 있는데, He 가스가 chucking에서 어떤 역할들을 하는지 궁금합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [102] 3674
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15361
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50581
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63010
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82191
149 wafer bias [1] 727
148 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 724
147 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 720
146 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 719
145 진학으로 고민이 있습니다. [2] 716
144 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 714
143 RF matcher와 particle 관계 [2] 710
142 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 707
141 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 706
140 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 703
139 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 703
138 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 697
137 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 693
136 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 692
» Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 681
134 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 679
133 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 678
132 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 671
131 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 671
130 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 666
쓰기
태그

Boards

XE Login