안녕하세요?

호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.

스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.

 "플라즈마 구 예시"(링크)

 

플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.

 

그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의  전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.

 

그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?

 

손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73031
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17616
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55516
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65697
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86030
186 플라즈마 코팅 [1] 975
185 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 960
184 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 940
183 plasma 형성 관계 [1] 937
182 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 928
181 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 919
180 wafer bias [1] 909
179 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 908
178 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 907
177 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 907
176 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 900
175 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 899
174 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 896
173 공정플라즈마 [1] 893
172 알고싶습니다 [1] 889
171 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 886
170 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 886
169 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 885
168 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 880
167 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 877

Boards


XE Login