Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
B dot
플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
2017.11.27 04:58
토북이
조회 수:1320
플라즈마 진단에서 로고스키 코일의 역할이 무언가요?
로고스키 코일의 원리는 무엇인가요>???
댓글
1
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[271]
76781
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
20229
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
57178
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
68721
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
92425
271
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1]
1328
270
I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다.
[1]
1320
»
플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
[1]
1320
268
텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1]
1317
267
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1]
1305
266
[CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
[4]
1301
265
플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
[1]
1294
264
플라즈마 기초입니다
[1]
1285
263
ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2]
1274
262
임피던스 매칭 및 플라즈마 진단
[1]
1273
261
플라즈마 챔버
[2]
1247
260
Plasma etch관련 질문이 드립니다.
[1]
1246
259
RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유
[1]
1245
258
반도체 관련 플라즈마 실험
[1]
1239
257
플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다.
[2]
1239
256
플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다.
[2]
1239
255
micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
[1]
1220
254
RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.
[1]
1198
253
Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다.
[1]
1189
252
챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화
[1]
1185
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer