Process Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..

2019.05.26 15:39

금자 조회 수:935

안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.

하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..

그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,

그에 대한 화학반응식이 무엇인지  공부 하고 싶은데

혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.


만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] 75021
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18862
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56341
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66848
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88323
199 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1047
198 plasma 형성 관계 [1] 1041
197 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1038
196 Group Delay 문의드립니다. [1] 1022
195 알고싶습니다 [1] 1018
194 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1003
193 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 994
192 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 989
191 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 988
190 플라즈마 코팅 [1] 983
189 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 977
188 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 974
187 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 969
186 플라즈마 관련 교육 [1] 968
185 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 966
184 wafer bias [1] 961
183 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 961
182 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 960
181 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 949
180 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 947
쓰기
태그

Boards

XE Login