Sheath LF Power에의한 Ion Bombardment

2021.06.24 22:36

PEOX 조회 수:749

안녕하십니까 교수님!!.

가입없이 게시판으로 많은 가르침을 받아가다가 이제서야 질문이 있어 가입후 글을 쓰게 되었습니다.

 

PECVD에서..

HF는 electron 온도 증가로 인한 plasma density 향상

 

LF POWER의 증가는 ion bombardment 를 증가시켜 박막이 더 dense 해져 stress가 더 compressive쪽으로 간다라고 이해하는게 맞는 걸까요? 

density가 높아지는데 compressive한 stress를 가진다고 하는 매커니즘이 잘 이해가 되질 않습니다.

(density가 높으면 (더 빽빽하게 증착되면) 밀려서 사이드쪽으로 늘어날려고 해서 compressive 스트레스를 가진다라고 혼자 이해했는데 맞는건지요.

 

막질의 density가 올라가면 compressive한 스트레스를 가지는게 항상 그런건지

(원래 Tensile한 막질이더라도 LF power 증가하면 Compressive한 방향으로 바뀌나요?)

 

아니면 막질마다 그 효과가 다른건지 궁금합니다. 

 

 

 

추가로 HF영역에서는 frequency가 높으니 유효질량이 작고 mobility가 빠른 electron에 에너지를 더 가해주기 쉽고 

반대로 LF영역에서는  frequency가 낮으니 상대적으로 질량이 크고 느린 ion에 에너지를 가해주기 쉽다고 이해하는게 맞는걸까요?

 

 

 

질문자체에 잘 못된 점이 있다면 바로 잡아주시면 감사하겠습니다!.  

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [110] 4861
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16198
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51246
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63738
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83485
156 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 778
155 공정플라즈마 [1] 777
154 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 775
153 wafer bias [1] 768
152 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 759
151 Plasma Generator 관련해서요. [1] 751
» LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 749
149 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 747
148 진학으로 고민이 있습니다. [2] 745
147 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 741
146 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 736
145 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 726
144 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 724
143 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 723
142 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 719
141 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 719
140 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 715
139 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 704
138 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 700
137 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 688

Boards


XE Login