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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화]
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플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory]
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etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution]
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[CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속]
[4] | 1603 |
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수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의]
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288 |
RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화]
[1] | 1596 |
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poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
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엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [나노광전자 데이터 분석]
[1] | 1577 |
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플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential]
[2] | 1561 |
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micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계]
[1] | 1556 |
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플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics]
[1] | 1555 |
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Uniformity 관련하여 문의드립니다. [베르누이 정리]
[1] | 1549 |
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ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power]
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ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성]
[1] | 1531 |
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wafer bias [Self bias]
[1] | 1531 |
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ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [플라즈마 방전 및 이온 가속]
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플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis]
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챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자]
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Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어]
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RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating]
[1] | 1473 |
