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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73496
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293 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1622
292 플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory] [1] 1618
291 etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution] [1] 1615
290 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1603
289 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1599
288 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 1596
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286 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [나노광전자 데이터 분석] [1] 1577
285 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential] [2] 1561
284 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계] [1] 1556
283 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics] [1] 1555
282 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [베르누이 정리] [1] 1549
281 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 1540
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276 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1498
275 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] 1497
274 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1473

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