안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [102] 3671
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15354
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50581
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63008
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82183
129 문의 드립니다. [1] 663
128 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 660
127 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 658
126 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 653
125 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 645
124 플라즈마 충격파 질문 [1] 641
123 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 636
122 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 633
121 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 631
120 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 618
119 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 616
118 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 614
117 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 610
116 플라즈마 챔버 [2] 604
115 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 594
114 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 592
113 알고싶습니다 [1] 587
112 RF 전압과 압력의 영향? [1] 584
111 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 569
110 Collisional mean free path 문의... [1] 569

Boards


XE Login