안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.

최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데, 


1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?

2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?


바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [112] 4887
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16225
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63745
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83511
138 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 690
137 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 687
136 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 687
135 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 679
134 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 676
133 RF 전압과 압력의 영향? [1] 674
132 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 674
131 문의 드립니다. [1] 674
130 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 673
129 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 673
» RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 670
127 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 660
126 플라즈마 충격파 질문 [1] 658
125 플라즈마 챔버 [2] 646
124 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 639
123 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 632
122 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 631
121 알고싶습니다 [1] 629
120 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 623
119 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 622

Boards


XE Login