교수님 안녕하세요. 디스플레이 장비사에서 근무중인 회사원입니다.

 

좋은 내용 정말 감사합니다. 많이 배우고 있습니다.

 

PECVD의 챔버와 standing wave effect에 관한 질문입니다. 

 

챔버의 크기가 클수록 standing wave effect에 의해 챔버 내의 플라즈마가 불균일 하게 형성되어 불균일한 필름이 증착되는 것으로 알고있습니다.

 

'용량결합형 전극에서 가이드링에 의한 전기장 제어' 논문(http://doi.org/10.5370/KIEE.2019.68.11.1465)의 2.1 전기장 불균일도 원인 내용에서 'Wave는 전도체 표면을 따라 전극 아래 중앙부로 이동한다. 이 현상은 축대칭으로 인해 전극 중앙 하부에서 축방향 전기정은 radial 방향으로 미분 값이 0이 되어야 한다. 따라서 전극 아래 중앙부에서는 시간에 따른 전기장이 가장 크거나 가장 작다.'
라고 설명이 나와있습니다. 

 

제가 드리고 싶은 질문은 wave가 중앙부에서 가장 강한지 궁금합니다. 또한 중심부에서 가장 큰 전기장이 형성 되더라도 전기장 에너지가 플라즈마 내부에서 확산되기 때문에 챔버 전체적으로 동일한 플라즈마 밀도를 가져야 하는것 아닌지가 궁금합니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [159] 73018
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17612
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55513
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65694
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86025
165 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 865
164 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 864
163 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 862
162 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 858
161 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 856
160 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 854
159 고진공 만드는방법. [1] 851
158 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 850
» standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 846
156 플라즈마 관련 교육 [1] 845
155 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 840
154 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 838
153 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 838
152 플라즈마 챔버 [2] 838
151 진학으로 고민이 있습니다. [2] 835
150 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 834
149 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 823
148 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 821
147 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 820
146 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 814

Boards


XE Login