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100 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 538
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98 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 528
97 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 521
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