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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다.
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RF 반사파와 이물과의 관계
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136 |
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1] | 739 |
135 |
Uniformity 관련하여 문의드립니다.
[1] | 735 |
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문의 드립니다.
[1] | 732 |
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플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다.
[1] | 731 |
132 |
플라즈마 관련 교육
[1] | 730 |
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RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다
[1] | 729 |
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Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
[2] | 727 |
129 |
RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다
[1] | 727 |
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Plasma Cleaning 관련 문의
[1] | 724 |
127 |
식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문
[1] | 707 |
126 |
3-body recombination 관련 문의드립니다.
[2] | 707 |
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ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
[1] | 704 |
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RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유
[1] | 698 |
123 |
새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서
[1] | 698 |
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플라즈마 충격파 질문
[1] | 694 |
121 |
전자 온도 구하기
[1] | 684 |
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엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
[1] | 684 |
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RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다.
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