번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [253] 76392
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19973
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57060
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68531
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91235
733 sheath와 debye shielding에 관하여 27664
732 DBD란 27658
731 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27546
730 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27192
729 이온과 라디칼의 농도 file 26895
728 self bias (rf 전압 강하) 26619
727 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26435
726 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26067
725 충돌단면적에 관하여 [2] 26051
724 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 25850
723 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25566
722 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24958
721 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24817
720 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24788
719 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24752
718 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24712
717 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24611
716 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24492
715 플라즈마가 불안정한대요.. 24492
714 plasma와 arc의 차이는? 24451

Boards


XE Login