번호 제목 조회 수
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 219
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48933
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 56150
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 63558
554 esc란? 24498
553 플라즈마 온도 24495
552 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 24423
551 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24337
550 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24277
549 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24114
548 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24106
547 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24052
546 플라즈마가 불안정한대요.. 23772
545 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 23548
544 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 23532
543 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23277
542 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 23221
541 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 22919
540 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 22813
539 RF frequency와 RF power 구분 22797
538 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 22786
537 Arcing 22569
536 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22523
535 No. of antenna coil turns for ICP 22432

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