번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20044
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91538
742 sheath와 debye shielding에 관하여 27716
741 DBD란 27677
740 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27572
739 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27199
738 이온과 라디칼의 농도 file 26934
737 self bias (rf 전압 강하) 26649
736 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26445
735 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26104
734 충돌단면적에 관하여 [2] 26085
733 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 25972
732 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25575
731 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24973
730 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24841
729 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24814
728 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24756
727 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24727
726 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24624
725 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24516
724 plasma와 arc의 차이는? 24505
723 플라즈마가 불안정한대요.. 24501

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