번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [60] 1482
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 1769
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49422
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59711
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75477
603 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 25638
602 self bias (rf 전압 강하) 25471
601 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25263
600 충돌단면적에 관하여 [2] 25133
599 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 24765
598 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24411
597 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24386
596 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24242
595 플라즈마가 불안정한대요.. 24185
594 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24182
593 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24176
592 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 23954
591 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 23740
590 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 23571
589 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23419
588 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23048
587 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 22957
586 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 22873
585 플라즈마 쉬스 22867
584 Arcing 22736

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