Plasma Source 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할
2024.01.19 09:00
안녕하세요. PEALD 장비를 개발하고 있는 연구원입니다.
보통 플라즈마의 장점이라 하면, 낮은 온도에서 공정이 가능하다는 점인데,
증착을 예로 들어, 플라즈마가 분해온도를 낮춰주는 역할을 하여 낮은 온도에서도 증착이 가능합니다.
현재 상온에서 증착 진행을 목표로, PEALD 4step 단계에서 3번째 step인 O2에서도 플라즈마를 넣지만,
낮은 온도에서의 TMA 분해를 위해 1step 에서도 플라즈마를 넣습니다. 여기서 궁금점이,
플라즈마가 TMA와 같은 전구체에 충돌을 하게 되면, 플라즈마의 전자가 몇 eV를 가질 때, 실제로
얼마만큼의 에너지를 전달하는지, 온도를 얼마나 올려주게 되는 역할을 하는지 궁금합니다.
이와 관련된 논문 있어도 추천해주시면 정말 감사하겠습니다.
찾아봐도 플라즈마 전자의 eV(온도, 에너지) - 충돌하는 분자 에너지 전달 메커니즘 or 상관관계가 없더라구요,,
감사합니다.
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전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상에 대한 교과서 내용을 참고하시면, 현상 이해에 도움이 될 것 같습니다. 대두분 공정 플라즈마 교재의 첫 부분이 충돌 반응의 물리적 현상에 대해 소개하니, 충돌 및 에너지 전달 과정의 이해는 공정 개발에 첫 걸음임을 알 수 있습니다. 일반 물리의 충돌 현상 부터 시작해 보셔도 좋고요. 일반 교재들을 참고해 보세요.
참, 두입자간의 충돌에서 전자와 원자 및 분자의 충돌 현상으로 보시면 좀 더 플라즈마 응용 분야의 현상 해석에 유리합니다. 참고하시고요.