CCP CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
2021.08.05 17:12
안녕하십니까 교수님 항상 성심성의것 답변해 주신것 감사합니다.
저는 CCP plasma를 다루는 반도체 장비 회사를 다니고 있는 엔지니어 입니다.
다름이 아니라 여러가지 조건으로 Split test를 하는 와중에 샤워헤드와 척 사이의 갭을 늘렸더니
플라즈마가 켜졌을 때 Matcher의 Vrms가 초반 몇 초 동안 급격히 상승하는 현상이 발생했습니다.
운이 없었다면 아킹이 발생하고 웨이퍼가 깨졌을 수도 있었던 상황이라 생각합니다.
이런 상황에서 pressure를 낮췄을 때는 Gap을 늘려도 상대적으로 안정해지는 경향이 파악 되었습니다.
왜 Gap이 커지면 불안정해지고, 여기서 Pressure를 낮추면 Gap이 커져도 상대적으로 안정해 지는 걸까요??
감사합니다~!
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20207 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92291 |
| 119 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16036 |
| 118 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15919 |
| 117 | In-flight plasma process | 15504 |
| 116 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14461 |
| 115 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
| 114 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11332 |
| 113 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10355 |
| 112 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9843 |
| 111 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9666 |
| 110 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9636 |
| 109 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8739 |
| 108 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1]  | 8618 |
| 107 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8573 |
| 106 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
| 105 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7650 |
| 104 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6648 |
| 103 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6410 |
| 102 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6365 |
| 101 |
코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.
[1] | 6001 |
| 100 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1] | 4943 |
저는 압력과 간격에 관한 플라즈마 방전 현상은 먼저 파센 (Paschen)의 법칙으로부터 이해하려고 합니다. 파센의 법칙, 혹은 Pd 방전 곡선을 공부해 보시기를 추천드립니다. 아마도 현재 장비의 운전 범위도 해당 법칙에서 정의한 운전 범위의 경계에 놓인 것이 아닌가 하며, 장비사에서 방전 개시 조건에 대한 정보를 공유받으시기를 추천드립니다. 장비사가 제공해야 하는 데이터도 확인해서 장비 운전 특성을 기준으로 운전 윈도우를 설정하는 가이드가 마련되면 좋을 것 같습니다.