Others 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제...

2009.03.20 12:36

기계공학사 조회 수:25738 추천:279

RF에 관심이 많은 학구파 기계공학 엔지니어 입니다.

제목에서와 같이 공정챔버에서의 아킹원인과 노이즈에 관해 궁금한 것이 있어서 입니다.

우선 아킹(번개 등)의 원인이 전하차에 의해 높은곳에서 낮은 곳으로 이동하면서 생기는 것으로 알고있습니다.

저희 공정챔버의 경우 기존 제품은 나름대로 양호하나, 현재 개조된 챔버에 대해서는

상당한 아킹과 노이즈를 겪고 있습니다.

우선, 개조사양은

챔버의 체적이 약 15% 커짐(고진공상태;100mTorr이하)

상부 안테나와 접하는 세라믹 순도가 99.98->99.99%로 변경(큰 영향은 없을 것으로 보임)

상부 안테나의 상부를 커버하는 알루미늄재질의 커버가 기존대비 약 10% 늘어남.

RF 구동 조건은

상부 13.56Mhz 약 5,000W
하부 13.56Mhz 약 7,000W

이며, 접지는 제3종 일것으로 생각됩니다.

여기서 아킹의 원인과 노이즈가 발생할 만한 것이 있을 수 있는지?

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