Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:916

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77294
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20491
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57409
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68940
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92987
230 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1030
229 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1030
228 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1027
227 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1027
226 고진공 만드는방법. [1] 1021
225 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 1017
224 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1011
223 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 998
222 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 990
221 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 989
220 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 988
219 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 977
218 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 973
217 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 969
216 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 946
215 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 946
214 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 944
213 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 935
212 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 921
211 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 918

Boards


XE Login