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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64532
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117 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 651
116 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 646
115 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 641
114 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 636
113 Collisional mean free path 문의... [1] 632
112 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 630
111 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 620
110 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 617
109 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 617
108 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 614
107 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 610
106 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 605
105 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 604
104 ICP 후 변색 질문 604
103 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 595
102 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 587
101 교수님 질문이 있습니다. [1] 586
100 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 586
99 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 576
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