안녕하십니까, 서울대학교 황농문 교수님 연구실 석사과정 김수종입니다.

제가 하고 싶은 것을 대략적으로 설명드리면, nano-size dust들의 크기를 조절에서 박막 증착의 물성을 확인하려고 하는데, 이 nano particle을 어떤 방식으로 조절할까 고민하던 중 흥미있는 논문을 읽게 되었습니다.

제가 논문을 이해한바로는, DC probe와 Current probe와 같은 간단한 장비를 이용해서, third Harmonics와 fundamental amplitude를 읽어들여서, nano particle의 nucleation, accumulation, coagulation, 세 단계를 실시간으로 잡아낼 수가 있다고 합니다.  이를 이용해서 nano particle 의 size를 조절할 수 있다는, 제가 꼭 필요한 부분에 관한 내용입니다.

사실, ICP 장비를 다루고는 있지만, 플라즈마 및 장비에 대해서 지식이 부족해서 장비 업체에 연락을 먼저 해 봤지만 잘 모르겠다고 답변을 받았고, 저희 연구실과 같이 공동 연구를 하는 쪽에도 여쭤봤지만 확답은 잘 못 받았습니다.

이미 그 논문을 쓴 해당 연구실에 관련한 궁금증에 대해서 질문을 메일로 보냈습니다.

하지만, 혹시 여기에서도 좋은 조언을 얻을 수 있을까 하는 희망을 가지고 질문 올립니다.

 

혹시 필요하실까봐, 제가 읽은 짧은 논문 하나와, 그 연구실에서 나온 것으로 생각된 document를 보내드립니다.

Document에서 제가 관심 있어하는 부분은 50쪽 Figure II.1과 59쪽 II.3.b Vdc and 3H probes에 관한 내용입니다.

참고할 만한 작은 조언이라도 부탁드립니다.

 

010-4188-1840

aprilbest@snu.ac.kr

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102959
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24689
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61444
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73484
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105857
253 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 1396
252 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1387
251 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1369
250 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1369
249 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1364
248 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1360
247 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1341
246 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1339
245 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1335
244 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1331
243 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 1326
242 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1317
241 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1317
240 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1315
239 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1313
238 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1298
237 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1292
236 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1284
235 Plasma에서 Coupled(결합)의 의미 [Power coupling과 breakdown] [1] 1283
234 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1274

Boards


XE Login