Plasma in general 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다.
2021.02.16 15:54
안녕하세요.
국내 소재 기업에 근무하며 진공장비 및 박막 공정에 대해 공부하고 있는 이용섭입니다.
궁금한 점은
DC나 RF 플라즈마를 켜고 육안으로 봤을 때 압력에 따라 플라즈마의 크기(퍼지는 정도)에 차이가 발생합니다.
압력이 낮으면 플라즈마 크기가 커지고(퍼지고), 압력이 높아지면 플라즈마 크기가 작아지는 것으로 보입니다.
이러한 현상이 나타나는 이유(압력에 따라 플라즈마 크기가 달라지는 이유, 원리)가 궁금합니다.
평균충돌거리 (collision mean free path) 개념을 공부해 보시면 쉽게 이해될 것 같습니다. 게시판에 관련 내용의 설명이 있으니 collision, 이온화 거리, mean free path 의 개념을 찾아 보시기를 추천합니다. 압력이 높으면 입자간의 거리가 짧아집니다. 따라서 플라즈마 전자들이 입자들과 충돌할 거리가 짧아지며, 충돌로 에너지를 잃고 충돌 사이에 에너지를 얻어야 하는데, 그 거리가 짧고 잦은 충돌을 하게 되니
전자들이 에너지 전달이 용이하지 않고, 따라서 플라즈마 생성 확률을 낮아지게 됩니다. 참고하셔서 관련 내용을 찾아 보시면 도움이 될 것 같습니다.