우리가 관심을 갖고 있는 웹이브는 전자기파를 의미하고, 전자기 파동은 파장 (전기장 또는 자기장의 크기가 바뀌는 거리 주기)와 

주파수 (시간 주기의 의미, 일초에 몆번 peak 값의 변동 빈도수)이며 파장과 주파수를 곱하면 파동의 전파 속도를 구할 수 있고, 전자기 파의 전파 속는 빛의 속도를 가집니다. 여기서 빛의 c=3c10e8m/sec 이고 파동의 주파수로 나누면 파장의 길이를 얻을 수 있고, sine 형태를 가정하면 반주기 동안에 신호는 최소-최대-최소의 값을 갖게 됩니다. 여기서 최소와 최대가 되는 파장의 거리를 전체 파장의 거리에 1/4이 됩니다. 즉, 이 거리의 안테나 구조 상에는 전기장이 크기 변화를 가진다는 의미입니다.

여기서 정상파라면, standing wave 라면 wave 가 마치 정체되어 있는 것 같이 공간의 전기장의 세기 분포를 형성하고 있다는 표현입니다. 따라서 장비 구조가 길어지면, 즉 안테나의 길이, 혹은 전극의 길이가 커지고, 주파수가 커지면 안테나 상의 전기장의 세기 분포가 파동 형태로 형성된 채로 존재하다는 의미가 standing wave 형성이라 볼 수 있습니다. 여기서 전기장이 센 곳에 전자들이 가속될 에너지가 큼으로 이온화가 크게 일어나게 됨으로 standing wave 가 형성되면 플라즈마 밀도 분포가 만들어지게 되고 이는 대부분, 공정 균일도에 매우 큰 영향을 미치게 됩니다. 따라서 가능하면 standing wave 효과가 만들어지 지지 않게 운전 조건을 만들거나, 안테나를 설게하게 됩니다.

하지만 공정 대상의 크기가 커짐에 따라서, 공정을 빠르게 진행하기 위해서 줖파수를 높이게 되면, 공정 균일도는 낮아지는 부담에 대응책을 같이 마련해야 합니다. 상보적인 관게가 존재해서, 우리 엔지니어들은 균형점을 찾는 일이 필요하지요.

따라서 이런 경우에 장비사로 부터 공정 균일도에 대한 정보를 미리 얻어 두시는 것이 좋습니다. 그 해석에는 불활성 가스에서의 데이터를 기반으로 자료를 얻고 공정과 유사한 조건의 가스에서의 플라즈마 균일도 데이터를 얻어, 이를 기반으로 공정 리시피를 개발하는 방법을 추천드립니다. .