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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17644
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65739
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86109
107 ICP 후 변색 질문 624
106 anode sheath 질문드립니다. [1] 618
105 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 616
104 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 609
103 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 605
102 교수님 질문이 있습니다. [1] 604
101 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 604
100 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 601
99 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 595
98 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 589
97 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 588
96 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 584
95 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 555
94 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 553
93 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 551
92 Plasma Arching [1] 547
91 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 547
90 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 546
89 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 544
88 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 541
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