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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57144
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68662
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187 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 864
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185 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 855
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183 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 851
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177 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 826
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175 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 811
174 RF 파워서플라이 매칭 문제 806
173 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 802
172 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 802
171 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 795
170 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 795
169 플라즈마 충격파 질문 [1] 791
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