Others 활성이온 측정 방법 [한국 기계 연구소 송영훈 박사팀]

2017.11.07 15:04

.. 조회 수:802

안녕하세요

배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.

플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.

오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요

오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더  강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.

그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.

활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?

그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요

플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?

현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.

교수님의 고견 부탁 드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103408
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24722
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61548
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73527
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105979
234 반도체 METAL ETCH시 CH4 GAS의 역할 [플라즈마 식각기술] [1] 1276
233 Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위] [1] 1269
232 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [세정 공정 개발] [1] 1268
231 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [국부 전기장 형성 및 edge 세정] [1] 1255
230 자기 거울에 관하여 1248
229 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [ICP, CCP 플라즈마 heating] [1] 1247
228 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1245
227 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 1243
226 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭] [1] 1242
225 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1240
224 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1239
223 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [Plasma heat와 dissociation] [1] 1230
222 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1228
221 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [Particle 관리] [1] 1219
220 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1219
219 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law] [1] 1217
218 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 1214
217 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [Atmostpheric pressure plasma jet] [1] 1211
216 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 1205
215 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 1199
쓰기
태그

Boards

XE Login