번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] 111494
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 27841
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 65113
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76926
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111194
216 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law] [1] 1294
215 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1292
214 ICP 장비 TCP Reflect 발생 간 조언 부탁드립니다. [1] 1291
213 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [Particle 관리] [1] 1290
212 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1290
211 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1281
210 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1280
209 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 1278
208 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [DBD와 "industrial plasma engineering"] [1] 1272
207 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 1269
206 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 1266
205 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1262
204 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전] [1] 1261
203 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술] [1] 1242
202 플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응] [1] 1238
201 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 1238
200 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 1235
199 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1234
198 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1231
197 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 1226

Boards


XE Login