Others Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
2020.09.08 09:59
안녕하세요. 장비회사에서 근무하는 양철훈 이라고 합니다.
궁금한 점이 있어 문의 드립니다.
- DC sputter에서 스퍼터링 건에서 전원부 말고 Sheild나 housing는 전기적으로 ground가 좋은가요 floating 시키는 것이 좋은지요. DC에서는 상관없을 수도 있다는 생각이 들기도 합니다.
- 동일 질문을 RF sputter의 경우에 하면 어떤 것이 더 좋은지요. RF에서는 charging 문제로 ground가 되어야만 할 것같다는 생각이 들기도 합니다.
어떤 것이 더 좋은지와 이 이유 답변 부탁드립니다.
감사합니다.
댓글 2
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] | 5595 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 16870 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 51346 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 64203 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 84177 |
| 71 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 460 |
| 70 | 활성이온 측정 방법 [1] | 458 |
| 69 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 457 |
| 68 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 455 |
| 67 | ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] | 449 |
| 66 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 442 |
| 65 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 441 |
| » | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 435 |
| 63 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 433 |
| 62 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 430 |
| 61 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1]  | 429 |
| 60 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 428 |
| 59 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 428 |
| 58 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 425 |
| 57 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 413 |
| 56 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 411 |
| 55 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 405 |
| 54 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 401 |
| 53 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 395 |
| 52 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 388 |
특별한 이유가 없는 한, 장비는 ground를 잘 확보하시는 것이 좋습니다. floating 조건이면 기준값이 통일되지 않아, 장비 운용에 문제를 야기할 확률이 매우 높아 집니다. 따라서 공정 재현성도 나뻐집니다. 접지 연결에는 각별한 주의를 기울이시는 것이 좋습니다. .