안녕하세요 고려대학교 가속기과학과 김지수 학생입니다.

 

ECR ion source를 연구중인데 ECR chamber에 GAS를 주입하고 RF를 인가중 플라즈마가 켜지게 되면

 

RF Reflect가 엄청 많아집니다. RF 주파수를 위아래로 조절해 보아도 Rflect가 기본 base line처럼 깔려서 낮아지질 않네요

 

Plasma상태에 따라서 RF reflect가 많이 달라질까요? 달라진다면 어떤 plasma 상태를 만들어야 될까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102724
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24675
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61390
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73458
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105792
213 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전] [1] 1188
212 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 1184
211 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1183
210 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 1177
209 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [DBD와 "industrial plasma engineering"] [1] 1176
208 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1174
207 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1172
206 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 1170
205 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 1168
204 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1163
203 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 1161
202 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체] [1] 1160
201 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 1143
200 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 1137
199 Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 1127
198 라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수] [1] 1109
197 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 1100
196 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 1095
195 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 1085
» ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [ECRiS] [2] 1084

Boards


XE Login