번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76438
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19997
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57072
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68544
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91345
137 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 672
136 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 663
135 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 662
134 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 660
133 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 655
132 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 650
131 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 645
130 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 643
129 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 641
128 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 633
127 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 630
126 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 619
125 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 611
124 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 610
123 Polymer Temp Etch [1] 610
122 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 606
121 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 602
120 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 599
119 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 591
118 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 587

Boards


XE Login