ICP ICP 대기압 플라즈마 분석
2021.11.11 14:47
안녕하세요. 교수님,
합성을 목적으로 두고 있는 5kW, 13.56MHz RF generator, ICP coil 을 이용해 대기압 플라즈마를 생성할 때 플라즈마 특성을 분석을 하고 싶은데, 일반적으로 많이 사용하는 RGA는 진공 환경에서 작동되는 것으로 알고있습니다. 관련 내용을 홈페이지에서 검색해 보니 2004년도에 교수님께서는 탐침과 OES 등을 이용해 분석하셨다고 쓰여있는데,
1. 혹시 그 동안 분석 방법에 대해서 발전된 것이 있는지,
2. 여전히 같은 방법으로 사용하고 계시다면 탐침과 OES로 어떤 것을 사용하였는지
제가 고체 물리 전공이지만 시료 합성을 위해 PECVD 관련 내용을 공부한지 얼마 안돼 관련 전공 지식이 많이 부족한 상태입니다. 추가적으로 해당 모델에 대해서 제가 공부하기 좋은 내용을 추천해 주시면 감사하겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76871 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20273 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68751 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92694 |
» | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 720 |
156 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 720 |
155 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 719 |
154 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 713 |
153 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 710 |
152 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 709 |
151 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 708 |
150 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 705 |
149 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 698 |
148 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 695 |
147 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 685 |
146 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 685 |
145 | Polymer Temp Etch [1] | 673 |
144 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 672 |
143 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 661 |
142 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 655 |
141 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 643 |
140 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 637 |
139 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 634 |
138 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 630 |