Others 석영이 사용되는 이유?

2010.04.16 19:26

최영익 조회 수:20037 추천:151

안녕하세요. 플라즈마를 공부하는 최영익이라고 합니다.

plasma device들 중에 석영을 주로 쓰는 경우가 있는데 특별한 이유가있는지요?

플라즈마 발생장치 중에 석영관 사이에서 방전을 한다거나

안테나가 석영관 뒤에 있는 경우가 있는데

석영이 선택되는 특별한 이유가 있는지요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76858
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20263
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57196
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68747
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92612
157 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 719
156 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 718
155 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 716
154 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 713
153 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 710
152 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 705
151 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 705
150 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 702
149 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 698
148 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 695
147 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 685
146 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 684
145 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 672
144 Polymer Temp Etch [1] 672
143 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 660
142 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 655
141 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 643
140 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 636
139 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 630
138 plasma 공정 중 색변화 [1] 627

Boards


XE Login