Plasma in general (PAP)plasma absorption probe관련 질문

2018.08.06 10:14

베컴 조회 수:415

안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.


(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.


일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.


원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.


일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....


교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.


그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.


감사합니다. 좋은하루 보내십시오.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73033
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17617
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55517
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65698
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86030
66 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 470
65 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 468
64 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 462
63 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 455
62 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 451
61 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 447
60 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 445
59 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 441
58 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 433
57 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 432
56 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 431
55 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 419
54 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 416
» (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 415
52 ICP lower power 와 RF bias [1] 408
51 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 406
50 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 405
49 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 405
48 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 398
47 핵융합 질문 [1] 398
쓰기
태그

Boards

XE Login