Remote Plasma Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해]
2023.12.18 02:36
안녕하세요.
Remote plasma source에 대해 질문 드립니다!
Cleaning을 위한 Remote plasma source에 사용되는
전원회로의 주파수가 주로 400kHz인 이유가 있을까요?
400kHz를 썼을 때 어떤 특성이 좋아지는건가요?
감사합니다!
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낮은 주파수를 사용하면 방전 안전성과 전원 매치의 이득이 클 것 같습니다. 하지만 이온 스퍼터링의 문제는 증가하여 관리에 신중해야 할 것 같습니다. 본 게시판에서 remote plasma을 찾아 보시면 좀 더 정보를 얻으실 수 있으실 것 같네요.