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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68758
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139 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 630
138 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 629
137 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 626
136 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 626
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134 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 619
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129 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 612
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127 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 600
126 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 600
125 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 599
124 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 596
123 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 593
122 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 593
121 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 590
120 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 589

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