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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69215
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154 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 685
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149 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 669
148 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 659
147 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 659
146 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 655
145 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 655
144 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 654
143 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 653
142 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 649
141 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 645
140 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 633
139 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 630
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137 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 623

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