안녕하세요. 감사하게도 플라즈마에 관한 수많은 질문과 답변들을 읽으며 많은 도움을 받고 있습니다.

 

저는 수도권 내 대학 기계공학과에 재학중인 학부연구생입니다.

 

다름이 아니라, 이번에 새로운 프로젝트를 기획하게 되었는데,

주제는 "DBD플라즈마를 활용한 마스크 소독기"가 되었습니다. 지름 150mm, 높이 200mm 수준의 실린더형 제품으로 구상중입니다.

 

드릴 질문은 다음과 같습니다.

1. DBD plasma generator 설계에 있어 플라즈마 리액턴트에 관한 조언

 

2. Parallel Plates 혹은 원통형의 DBD 플라즈마를 구성함에 있어 중요한 공정 변수들(rf generator, 전극과 유전체의 재료 properties, 전극과 유전체 사이 간격, 원통의 길이 등)

 

3. 소독이 진행 되어질 챔버(폴리머 or 메탈)에관한 전문가님들의 조언이 필요하게 되어 글을 작성하게 되었습니다.

 

바쁘신 와중에 읽어주셔서 감사합니다.

 

 

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [131] 5631
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16936
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51356
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64231
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84428
33 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 314
32 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 305
31 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 304
30 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 297
29 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 295
28 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 290
27 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 290
26 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 271
25 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 238
» 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 238
23 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 221
22 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 209
21 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 208
20 RPSC를 이용한 SiO, SiN Etch 관련 문의드립니다. [1] 205
19 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 200
18 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 175
17 plasma striation 관련 문의 [1] file 172
16 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 167
15 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 159
14 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 157

Boards


XE Login