Plasma in general (PAP)plasma absorption probe관련 질문
2018.08.06 10:14
안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.
(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.
일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.
원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.
일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....
교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.
그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.
감사합니다. 좋은하루 보내십시오.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76743 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20213 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68706 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92299 |
109 | 핵융합 질문 [1] | 567 |
108 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 565 |
107 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 558 |
106 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 558 |
105 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 553 |
104 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 550 |
103 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 548 |
102 | Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] | 547 |
101 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 546 |
100 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 544 |
99 | self bias [1] | 530 |
98 | Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] | 521 |
97 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 517 |
96 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 516 |
95 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 514 |
94 | PECVD Uniformity [1] | 509 |
93 | 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] | 507 |
92 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 501 |
91 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 488 |
» | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 484 |
PAP 진단법은 제게 매우 생소합니다. 혹시 구성 요소를 보니 Cut-off probe를 말씀하시는 것일 수도 있겠다는 생각입니다. 충남대학교 물리학과의 유신재 교수님을 추천합니다. 참고하세요.