Others 활성이온 측정 방법

2017.11.07 15:04

.. 조회 수:575

안녕하세요

배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.

플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.

오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요

오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더  강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.

그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.

활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?

그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요

플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?

현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.

교수님의 고견 부탁 드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76964
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20321
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57242
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68790
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92783
121 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 590
120 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 588
119 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 585
118 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
» 활성이온 측정 방법 [1] 575
116 핵융합 질문 [1] 573
115 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 569
114 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 558
113 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 558
112 PECVD Uniformity [1] 556
111 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 554
110 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 553
109 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 548
108 self bias [1] 546
107 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 525
106 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 521
105 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 520
104 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 519
103 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 518
102 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 501

Boards


XE Login