ATM Plasma Silent Discharge

2004.06.19 16:11

관리자 조회 수:64557 추천:239

Silent Discharge는 일반적으로 Dielectric Barrier Discharge(DBD)라고 불리웁니다.
그런데 왜 silent discharge라 하는지 정확히는 모르지만, 그 이름으로부터 유추할수 있겠지요. 일반적인 대기압 방전으로 arc 방전이 오래 전부터 쓰였는데 이 방전은 소음을  동반합니다. 하지만 dielectric barrier 방전은 조용하지요. 그래서 silent 방전이 아닌가 합니다.

Silent 방전에 관한 좋은 논문으로는 다음을 추천합니다.
U. Kogelschatz, B. Eliasson and W. Egli,  J. Phys. IV France, vol 7, C4-47 (1997)

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20207
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68703
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92290
109 핵융합 질문 [1] 567
108 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 564
107 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 558
106 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 555
105 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 551
104 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 550
103 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 548
102 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 547
101 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 546
100 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 543
99 self bias [1] 529
98 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 521
97 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 516
96 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 514
95 PECVD Uniformity [1] 509
94 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 507
93 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 501
92 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 500
91 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 487
90 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 484

Boards


XE Login