번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76657
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57149
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92148
67 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 408
66 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 403
65 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 400
64 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 395
63 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 392
62 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 390
61 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 387
60 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 387
59 plasma modeling 관련 질문 [1] 386
58 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 384
57 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 373
56 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 368
55 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 362
54 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 353
53 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 353
52 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 347
51 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 347
50 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 345
49 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 341
48 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 339

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