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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 77004
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111296
116 핵융합 질문 [NFRI 국가핵융합 연구소] [1] 878
115 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 873
114 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 856
113 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [열플라즈마와 "플라즈마 금속학"] [1] 856
112 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 854
111 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소] [1] 846
110 안녕하세요 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [E x B drift] [1] file 844
109 Floride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [Sputter setup 및 구동 원리] [1] 843
108 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 843
107 Frequency에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [전자와 이온의 열운동 특성과 반응 거리] [1] 839
106 플라즈마 기본 사양 문의 [형광등 동작 원리] [1] 836
105 KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion] [1] 822
104 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 821
103 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 821
102 Bias인가 Cable 위치 관련 문의 [플라즈마 분포 관찰] [1] 813
101 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 810
100 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 808
99 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화] [3] 807
98 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [국부 방전과 chucking] [1] 804
97 HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다. [2] 799
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