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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70420
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104 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 561
103 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 552
102 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [ICP와 H field] [1] 547
101 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 544
100 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 533
99 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [Pd condition과 PDP] [1] 533
98 PEALD장비에 관해서 질문드리고 싶습니다. [장비 세정 및 관리 규칙] [1] 530
97 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 519
96 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching] [1] 518
95 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응] [1] 513
94 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [공정 조절과 CF4 계열 플라즈마] [1] 513
93 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 512
92 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 512
91 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 502
90 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [Materials processing] [1] 489
89 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 489
88 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의 드립니다. [플라즈마 분포와 확산] [1] 485
87 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 482
86 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 482
85 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 477

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