번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [295] 77443
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20550
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57476
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69002
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93063
73 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 388
72 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 383
71 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 378
70 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 364
69 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 360
68 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 359
67 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 347
66 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 345
65 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 341
64 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 331
63 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 324
62 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 324
61 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 321
60 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 314
59 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 311
58 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 310
57 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 305
56 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 304
55 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 279
54 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 274

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