ATM Plasma 대기압 플라즈마 문의드립니다
2023.11.03 15:13
안녕하세요
Ar 대기압 플라즈마를 사용하여 실험 중에 있습니다.
현재의 문제는 가로의 길이는 넓은 범위로 플라즈마 조사가 가능하지만 세로의 폭을 넓게 하는 것이 한계가 있습니다. (세로 약 18mm)
혹시 관련하여 플라즈마의 영향 범위를 넓힐 수 있는 방법이 무엇이 있는 지 조언 주시면 감사하겠습니다 !
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76855 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20262 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57193 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68747 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92610 |
57 | PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] | 340 |
56 | 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] | 327 |
55 | 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] | 323 |
54 | RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] | 321 |
53 | E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] | 321 |
52 | RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] | 317 |
51 | Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] | 313 |
50 | RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] | 294 |
49 | 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] | 276 |
48 | RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] | 268 |
47 | gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] | 266 |
46 | Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] | 258 |
45 | Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] | 255 |
44 | 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] | 252 |
43 | GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] | 252 |
» | 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] | 251 |
41 | Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] | 235 |
40 | 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] | 225 |
39 | Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] | 217 |
38 | 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] | 213 |