번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] 111645
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 27912
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 65190
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76999
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111289
76 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 733
75 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 729
74 RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability] [1] 725
73 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 709
72 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [ICP와 H field] [1] 704
71 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 702
70 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 700
69 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] 699
68 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning] [1] 696
67 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 690
66 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 684
65 RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral] [1] file 679
64 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 677
63 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 674
62 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 666
61 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 664
60 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching] [1] 659
59 CCP 장비 하부 전극 dc 펄스 전력 [1] 652
58 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 646
57 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 641

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