번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76438
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19997
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57072
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68544
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91345
39 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5075
38 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4059
37 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3851
36 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3599
35 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3350
34 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3327
33 질문있습니다. [1] 2520
32 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1534
31 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1435
30 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1398
29 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1372
28 플라즈마 관련 교육 [1] 1366
27 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1255
26 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1185
25 Group Delay 문의드립니다. [1] 1128
24 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1107
23 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1028
22 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1012
21 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 942
20 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 897

Boards


XE Login