번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20045
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91543
722 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24288
721 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24219
720 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24144
719 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24119
718 self Bias voltage 23974
717 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23950
716 플라즈마 쉬스 23911
715 Arcing 23720
714 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23711
713 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23417
712 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23361
711 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23312
710 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23248
709 DC glow discharge 23204
708 고온플라즈마와 저온플라즈마 23095
707 No. of antenna coil turns for ICP 23066
706 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 23030
705 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22925
704 CCP/ICP , E/H mode 22896
703 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22830

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