1. 광전리에 의한 플라즈마의 생성에 관해서 궁금합니다.

2. hwp 플라즈마란 무엇이며 특징에 대해서 궁금합니다!

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752 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) [ICP와 CCP의 heating] 23256
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750 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [Remote plasma의 Radical] [1] 23058

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