안녕하세요 교수님

저는 C2H2 플라즈마 코팅을 공부하고 있는데요.

실험시에 가스 방출의 문제가 있어서 질문드립니다.

 

먼저, 대상 금속은 크롬강에 경질크롬도금을 한 육면체에 C2H2 가스를 플라즈마

형태로 분사하여 플라즈마 코팅을 하고 있습니다.

그런데, 코팅을 하고 나면 드문드문 하얗게 동그란 형태 또는 액체가 흘러내린

현태로 가스가 배출되어 배출된 면에 코팅이 되어 가지고 해결 워인을 찾고 

있습니다.

 

제가 아는 상식선에서 통상 가스는 경질크롬도금을 할 때 황산욕, 또는 크롬산욕을

하는 과정에서 수소가 크롬도금층에 생성되므로 이것을 약 170℃ 정도로 장시간

열처리 하면 가스가 빠지는 것으로 아는데, 

열처리를 하고 나서 세척후 코팅을 하면 꼭 한두 포인트씩 가스가 나오고 있습니다.

 

그래서 의문이 생겼는데, 이 가스가 경질 크롬 도금에서 나오는 것이 아니라 혹시

C2H2의 성분상의 가스가 이온분리되면서 나타나는 가능이 없는지 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77787
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20740
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57659
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69158
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93438
17 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [부착물의 흡착 관리] [1] 104
16 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 99
15 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 90
14 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 84
13 Druyvesteyn Distribution 82
12 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 78
11 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 76
10 플라즈마 식각 커스핑 식각량 75
9 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 74
8 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 65
7 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 57
» C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 50
5 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 42
4 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 30
3 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 29
2 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 27
1 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [1] update 8

Boards


XE Login