Others DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스]

2023.12.05 19:04

양은혁 조회 수:205

안녕하세요. 기업에서 플라즈마를 활용해 연구 중인 직장인입니다.

 

아직은 배우고 있는 단계라서 정확히는 모르지만 실험중 일어난 현상에 대해서 조언을 구하고자 질문 드립니다.

 

석영관을 유전체, 황동을 금속전극으로 Ar가스로 실험중에 석영관이 검게 타면서 작게 구멍이 났습니다. 

 

이런 현상이 자주 발생하는 건지, 그리고 발생하는 원인에 대해서 조언을 구합니다.

 

감사합니다.  

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82834
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21996
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58778
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70414
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96388
24 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 226
23 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 218
22 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 210
» DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 205
20 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 203
19 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 202
18 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 197
17 플라즈마 설비에 대한 질문 197
16 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 189
15 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 182
14 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 162
13 ICP 장비 TCP Reflect 발생 간 조언 부탁드립니다. [1] 160
12 ESC 사용 공정에서 Dummy Wafer Chuck Force 에 대해서 궁급합니다 [1] 159
11 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 158
10 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 153
9 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 153
8 Druyvesteyn Distribution 138
7 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 133
6 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 131
5 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 129
쓰기
태그

Boards

XE Login